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高温四探针测试仪的主要功能特点介绍

更新时间：2020-04-23 点击次数：1024

高温四探针测试仪采用由四端测量方法测试电阻率系统与高温试验箱为一体的的高温测试系统，满足半导体及导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通以在高温、真空、气氛的条件下测量导电材料电阻和电阻率，可以分析被测样的电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。目前主要针对圆片、方块、长条等样品进行测试。

高温四探针测试仪广泛用于碳系导电材料、金属系导电材料、金属氧化物系导电材料、结构型高分子导电材料、复合导电材料等材料的电阻率测量。主要有生产企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻、电阻率和电导率数据。

高温四探针测试仪功能特点：

1、采用双电测组合测量模式，不用进行系数修正；

2、可以测量高温、真空、气氛条件下薄膜方块电阻和薄层电阻率；

3、可以分析方块电阻和电阻率随温度变化的曲线；

4、可以自动调节施加在样品的测试电压，以防样品击穿；

5、可以与美国keithley2400数字源表配套测量半导体材料；

6、可以通过USB传输数据，数据格式是Excel格式。