视频采集技术在四探针测试系统中的应用

四探针测试技术是半导体生产中主要监测手段之一，并且在半导体材料的测量中发挥着越来越重要的作用。四探针测试技术是一种测量技术，在有些情况下还需要有高分辨率。每一种四探针法对探针的结构、位置和针尖距都有不同的要求，一般情况下，针距都是很小的，可能低于1mm。在大片径样品测量中，要尽可能地减小测量区域，以便好地观测样品电阻率的不均匀性。

鉴于以上原因，在测量时需要对测试台、样品和探针都进行细微的实时监测，保证测量是在允许的情况下进行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼观测容易疲劳而产生误判，而且不能进行记录，会给测量结果带来很大的误差。通常情况下可以通过显微镜解决肉眼分辨率低的问题，但是检测起来还是相当麻烦。视频采集技术的发展可以很好地解决以上问题，能对测试过程进行图像采集、记录和分析，达到实时监测的要求，而且有很高的分辨率，方便测量员对测量过程的控制。

视频采集技术在四探针测量中发挥着重要作用，主要体现在两个方面：

1）对显微镜监测对象的图像进行实时采集；

2）对采集到的视频数据进行处理，包括分析、记录和显示。一般可以借助计算机实现视频信息的记录与显示，从而使得传统的探针测试台与计算机技术紧密地结合起来。

视频采集技术的引进实现了对四探针测量过程真正意义上实时监测，提高了测试仪的控制精que性，从而提高了测量结果的精度和准确性，尤其对观测样品电阻率的不均匀性有很大的帮助。