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Huace-4简易探针台的产品特点及应用

更新时间：2023-09-12 点击次数：1045

Huace-4简易探针台

产品简介：

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用：

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；

◆ 可用于6英寸以内样品测试；

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；

◆ 可放置于手套箱内使用；

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠。

技术参数：

台体规格
尺寸	4英寸/6英寸
水平旋转	可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程	2英寸×3英寸
X-Y移动精度	10μm
样品台Z轴调节	可升降10mm
样品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台	左右各一个针座平台，**可放置6个探针座
背电极测试	样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸	400mm长380mm宽500mm高
设备重量	约20KG

光学系统
显微镜类型	单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率	16X-200X
移动行程	水平方向绕立柱360°旋转，Z轴50.8毫米
光源	外置LED无极调节亮度环形光源
CCD	200万像素/500万像素/1200万像素

定位器
X-Y-Z移动行程	12mm12mm12mm
移动精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式	磁力吸附，真空吸附
线缆	同轴线/三轴线
漏电精度	10pA/100fA/10fA
固定探针	弹簧固定/管状固定
接头类型	BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
针尖材质	钨钢；铍铜

可选附件：

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；