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    Huace-4简易探针台的产品特点及应用

    更新时间:2023-09-12      点击次数:1045

    Huace-4简易探针台

     

    产品简介:

    探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

     

    产品特点及应用:

    ◆ 满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等;

    ◆ 可用于6英寸以内样品测试;

    ◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动;

    ◆ 可放置于手套箱内使用;

    ◆ 形状轻巧,操作方便,价格实惠。

     

    技术参数

    台体规格

    尺寸

    4英寸/6英寸

    水平旋转

    360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置

    X-Y移动行程

    2英寸×3英寸

    X-Y移动精度

    10μm

    样品台Z轴调节

    可升降10mm

    样品固定

    真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环

    针座平台

    左右各一个针座平台,**可放置6个探针座

    背电极测试

    样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极

    外形尺寸

    400mm长*380mm宽*500mm高

    设备重量

    20KG

     

    光学系统

    显微镜类型

    单筒显微镜/体式显微镜

    放大倍率

    16X-200X

    移动行程

    水平方向绕立柱360°旋转,Z轴50.8毫米

    光源

    外置LED无极调节亮度环形光源

    CCD

    200万像素/500万像素/1200万像素


     

    定位器

    X-Y-Z移动行程

    12mm*12mm*12mm

    移动精度

    10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

    吸附方式

    磁力吸附,真空吸附

    线缆

    同轴线/三轴线

    漏电精度

    10pA/100fA/10fA

    固定探针

    弹簧固定/管状固定

    接头类型

    BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

    针尖直径

    0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

    针尖材质

    钨钢;铍铜

     

    可选附件:

    加热台;
    显示器;
    转接头;
    射频测试配件;

    屏蔽箱;

    光学平台;
    镀金卡盘;
    光电测试配件;

     

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